真空泵抽速33L/s
均勻性小于5%
冷阱溫度-90℃
是否定制可定制
裂解區較高溫度1200℃
產品別名真空鍍膜機/多弧離子鍍膜機/鍍膜線/其他
類型真空鍍/光學度/電鍍/銘鍍/其他
適用原料塑膠/金屬/其他
鍍種真空鍍膜/鍍鎳系列/鍍銀系列/其他
適用范圍五金/展架/玻璃/塑料/其他
功率不限制
規格不限制
主要分類有兩個大種類: 蒸發沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等 。
一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。
厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3. 蒸發功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小。
組分均勻性:
蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。
晶向均勻性:
1、晶格匹配度
2、 基片溫度
3、蒸發速率
濺射鍍膜又分為很多種,總體看,與蒸發鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數之一。
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
真空鍍膜機工作的環境要求:
真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。
這兩個方面是有密切聯系的。周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常使用;而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要達到預期的真空度很難的。眾所周,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的污染會較加嚴重,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
工業環境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的或分散狀態的物質。所謂粉末是指微小的固體顆粒的,而顆粒是指能夠一個一個計數的微小物質。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態存在于氣體中的物質體系。物質無論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀態均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標準,從而定制出潔凈室的等級。不僅適合于有潔凈要求的工業部門,也適合于真空對潔凈環境的要求。
派瑞林parylene真空氣相沉積設備又名派瑞林鍍膜機、哌拉倫鍍膜機,是用于電路板pcba、線圈馬達、硅橡膠制品、磁性材料、led/oled、傳感器、微電子產品、電池、產品、書籍畫卷等產品鍍膜的設備,與傳統的三防噴涂設備不同,它采用了一種特的化學氣相沉積工藝(cvd),沉積過程過程主要有以下三個步驟:
1. 真空環境,溫度130℃條件下,固態派瑞林材料升華成氣態。
2. 真空環境,溫度680℃條件下,將氣態雙分子裂解成為活性單體。
3. 真空環境,常溫下,氣態單體在基體上生長聚合,形成致密的防護膜。
的沉積過程決定了派瑞林parylene膜層厚度可以自由控制、膜層厚度整體比較均勻、膜層比較完整無薄弱點無針孔等特點,所以被涂敷后的產品膜層防護性能明顯**噴漆、環氧、電鍍等傳統三防工藝,防水、絕緣、耐鹽霧、耐腐蝕的防護效果也較好,從而提高產品性能,延長適用壽命。
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