比重0.86
用途管道泵
輸送介質油泵
實際價格來電面議
性能自動
ULVAC低溫泵維修
CRYO-U系列：CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、CRYO-U8H-U、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、CRYO-U12H、CRYO-U12HSP、CRYO-U16、CRYO-U16P、CRYO-U20P、CRYO-U22H、CRYO-U30H
CRYO-TORR系列：CRYO-TORR8、CRYO-TORR10
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特長
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
選購件
可選購、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
用途
? 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
? 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
? 用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
? 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
VSN1501 / VSN2401 油旋片式真空泵
特長
能對應全壓強領域的連續運轉
采用高吸氣壓強也能穩定運轉的強制運轉的供油方式和缸體的水冷方式。選用油霧過濾器、油回收裝置、及耐熱型密封件后，真空泵就能在大氣壓以下的全壓強范圍內連續運轉。
實現了低噪音
由于采用了極限壓力時降低運轉聲音的結構，VSN1501、VSN2401的噪音能**74dB（A）（到達極限壓力時并帶有油霧過濾器、在離泵1米處的測定值）。
實現了低震動
由于采用的旋片結構，能達到高速化（50Hz、1500r/min），大大降低了震動傳導大的低頻領域的震動。因此無須大規模的基礎工程，也容易安置于工廠廠房的2樓、3樓。
的維修性能
為方便日常保養工作，油量確認、油補充、油更換的方向為同一操作方向。
為延長油的補充期，采用了8～10.5L的可變油量。
用途
? 鍍膜、濺射、離子鍍。
? 氣體置換、充填、真空隔熱。
? 真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。
? 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
? 檢漏裝置、真空成形、真空鑄造。
? 真裝、真空吸附、搬送、其它。
提供全國范圍內的ULVAC愛發科羅茨泵維修保養,以下為我公司維修過的型號:
NB系列羅茨泵：
NB100B
NB300B
NB600B
NB1200B
NB2400B
PRC-A/PMB-C(M) SERIES羅茨泵：
PMB1200D
PMB100D
PMB100DT
PMB300D
PMB300DT
PMB600D
PMB600DT
PMB1200D
PMB1200DT
MBS SERIES羅茨泵：
MBS-052
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