比重0.86
用途管道泵
輸送介質油泵
實際價格來電面議
性能自動
NB100B-NB1200B羅茨式真空泵
特長
潔凈的真空
腔體內沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運作
選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現在高吸入壓強下的運作。
用途
? 照明、電子、光學、半導體。
? 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
? 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
? 真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。
? 分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特長
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
選購件
可選購、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
用途
? 活性氣體(CVD、刻蝕等)。
? 排出非活性氣體(濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。
? 用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
? 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。
? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
ULVAC渦旋泵維修
DIS/DISL系列:DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502
ULVAC干泵維修
LR系列:LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列:HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列:UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列:CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列:GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列:PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列:VPT-030、VPT-6000
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